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化学机械磨抛机

简要描述:SL-1023化学机械磨抛机,适用于 CMP 平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐
蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型加工的需求。

  • 产品型号:SL-1023
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-04-16
  • 访 问 量:101

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    SL-1023化学机械磨抛机,适用于CMP平坦化和平滑化工艺技术, 整机研磨部分采用防腐材料,耐化学腐

    蚀,配置自动滴料器和精密磨抛控制仪,全自动触摸屏面板,从加工性能和速度上同时满足晶圆等面型

    主要特点:

    ·超平不锈钢抛光盘(平面度为每25mm×25mm小于0.0025mm)。

    ·超精旋转轴(托盘端跳小于0.01mm)。·设有两个加工工位,可分别进行控制。

    ·配有全自动控制触摸屏面板,可设置主轴转速、摆臂速度、磨抛时间。·配置自动滴料器,流量速率可视化调整,自动研磨和抛光。

    ·配置GPC-100A精密磨抛控制仪,可调节压力,修整面型,使磨抛更加方便快捷。·研磨部分采用防腐材料,耐化学腐蚀。

    加工的需求。



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