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热翘曲系统 技术参数: 1. 最大样品尺寸 : 400 mm x 400 mm 2. 最小样品尺寸 : 0.5 mm x 0.5 mm 3. 在 2 秒内获得 140 万个数据点 4. Warpage 分辨率 1 µm 5. 最高每秒加热 3.5ºC 摄氏度 6. 红外线加热和对流冷却来控制温度
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