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      离子注入机 参数： 1. 单价离子最大加速能量≥200keV，并增加减速系统实现单价离子在5keV~200keV的能量范围 2. 可用于2、3、4、6、8英寸晶圆以及不规则碎片 3. 可注入B、P、As、Al、S、H、Mg、Si离子 4. 注入剂量精准度≤1.5%

      更新时间： 2024-03-28
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      厂商性质： 经销商
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