欢迎来到 网站!
咨询热线

19842703026

当前位置:首页>>>等离子增强化学气相沉积PECVD

  • 等离子增强化学气相沉积PECVD

    等离子增强化学气相沉积PECVD(1) 应用方向:高质量PECVD沉积氮化硅和二氧化硅,用于光子学、电介质层、钝化以及诸多其它用途;用于高亮度LED生产的硬掩模沉积和刻蚀(2) 电阻丝加热电极,最高温度可达400°C或1200°C(3) 实时监测清洗工艺, 并且可自动停止工艺(4) 晶圆最大可达200mm,可快速更换硬件以适用于不同尺寸的晶圆。

    更新时间: 2024-03-28
    型号:
    厂商性质: 经销商
    浏览量: 369
共 1 条记录,当前 1 / 1 页 首页 上一页 下一页 末页 跳转到第
Baidu
map