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一、产品简介
CIF透射电镜样品杆清洗机采用远程离子清洗源设计,清洗快速高效,低轰击损伤,同时可实现常规等离子清洗。主要用于TEM透射电镜样品杆的等离子体清洗和真空检漏。
二、CIF透射电镜样品杆清洗机产品特点
1. 远程离子清洗源
2. 一机多用
3. 清洗快速高效,低轰击损伤
三、技术参数
产品型号 |
CIF-TEM |
等离子电源 |
13.56MHz等离子射频电源,射频功率5-120W可调 |
远程等离子源,自动匹配器 |
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清洗室 |
清洗室尺寸Ø180xH100mm |
清洗数量 |
可同时清洗3支TEM样品杆 |
适配品牌 |
THERMO FISHER(FEI)、日立HITACHI、捷欧路JEOL |
气体控制 |
标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 |
质量流量计(MFC),皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr |
真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
真空泵 |
前级泵 |
抽气速率2 L/s |
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分子泵 |
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极限真空:CF:5x10-6Pa,ISO-K:3x10-5Pa |
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分子泵抽速>80L/s (N2) |
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入口法兰:DN100CF/DN100ISO-K |
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质量保证 |
二年质保,终身维护 |
电源 |
220V,50/60Hz,300W |
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