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一、 产品简介
CIF扫描电镜等离子清洗机采用远程等离子清洗源设计,清洗快速、高效、低轰击损伤,主要用于SEM或FIB等电镜腔体内碳氢化合物的清洗。
二、CIF扫描电镜等离子清洗机产品特点
1. 远程等离子清洗源
2. 清洗快速、高效
3. 低轰击损伤
三、技术参数
产品型号 |
CIF-SEM |
法兰接口 |
KF40(CF40) |
工作气压 |
0.3-3Pa |
等离子电源 |
13.56MHz射频电源,射频功率5-150W可调, |
远程等离子源,自动匹配器 |
|
气体控制 |
标配单路质量流量计(MFC)可选双路。50毫升/分,自动控制气体流量,不会受环境温度和压力变化影响 |
气源选择 |
根据需求氧气、氩气、氮气、氢气等多种清洗气源选择 |
真空控制 |
皮拉尼真空计,测量范围1E-5Torr |
真空保证 |
真空计和电磁阀安全互锁 |
操控方式 |
7寸全彩触摸屏控制,中英文互动操作界面 |
电源/功率 |
220V,50/60Hz,300W |
可选配件 |
可选氧气、氮气、氢气发生器, 氢气纯度﹥99.999%,输出流量0-300ml/min |
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