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一、CIF手套箱专用等离子清洗机产品简介
CIF推出VGB-P系列手套箱专用等离子清洗设备,优化的腔体结构及合理的结构设计更适合手套箱内使用。安装简单方便,性能稳定,实用性强,容易维护。
二、CIF手套箱专用等离子清洗机产品特点
1. 7寸彩色触摸屏互动操作界面,图形化用户操作界面显示,自动监测工艺参数状态,20个配方程序,可存储、输出、追溯工艺数据,机器运行、停止提示。
2. PLC工控机控制整个清洗过程,手动、自动两种工作模式。
3. 真空仓体,全真空管路系统采用316不锈钢材质,耐腐蚀无污染。
4. 自动匹配器,功率无极可调。
5. 采用美国德威尔(Dwyer)气体浮子流量计,双路气体控制气体流量,可输入氧气、氩气、氮气、氢气或混合气等气体,气体分配均匀,经济实用。
6. HEPA高效过滤,气体返填吹扫,防止二次污染。
7. 弧形等离子激发板,等离子激发能力更强。
8. 分体式设计,便于手套箱内使用。
9. 安全保护,仓门打开,自动关闭电源。
三、技术参数
型号 |
VGB3 |
VGB3Plus |
舱体尺寸 |
D178xΦ150mm |
D178xΦ150mm |
舱体容积 |
3L |
3L |
射频电源 |
40KHz |
13.56MHz |
匹配器 |
自动匹配 |
自动匹配 |
激发方式 |
电容式 |
电容式 |
射频功率 |
10-300W可调 |
10-150W可调 |
气体控制 |
双浮子流量计(标配) |
|
有效处理尺寸 |
L200xW155mm |
|
时间设定 |
1-99分59秒 |
|
真空泵 |
抽速4-8m3/h |
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气体稳定时间 |
1分钟 |
|
真空度 |
100pa以内 |
|
电源 |
AC220V 50-60Hz |
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