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一、纳米压印系统产品介绍：
1. 兼容基底尺寸：直径≤100mm
2. 支持基底材料：硅片、玻璃、石英、塑料、金属等
3. 纳米压印技术：旋涂胶基底高精度压印&点胶自动找平压印、旋涂胶基底压印、点胶自动找平压印模式
4. 压印精度：优于10nm
5. 结构深宽比：优于10：1
6. 残余层控制：可小于10nm 微米级TTV控制精度
7. 紫外固化光源：紫外LED（365nm）面光源，光强>300mW/cm2
8. 自动压印/自动脱模/自动工作模具复制/主动找平压印/模自动点胶：支持
9. 模具基底对位系统：手动对位（选配）
10. 上下片方式：手动上下片
二、纳米压印系统技术优势：
随机提供全套纳米压印工艺与材料，包括DOE、AR斜齿光栅、高密度、高深宽比结构、微透镜阵列、匀光片结构等工艺流程，帮助客户零门槛达到国际纳米压印水平。
三、公司简介：
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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