实验型匀胶机

简要描述：实验型匀胶机技术参数：
1.适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘
2.自动滴胶功能
3.支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制
4.转速范围：20-10000rpm
5.转速分辨率：±1rpm
6.加速度可调范围：20-50000rpm/s
7.单步时长：3000s
8.时间分辨率：0.1s

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2024-03-27
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详细介绍

一、实验型匀胶机技术参数：

1. 适用基片尺寸：小于1cm小碎片及到8寸标准晶圆，非标准基片可定制载物盘

2. 自动滴胶功能

3. 支持去边、背洗、匀胶、显影、清洗、控温等功能模块个性化定制

4. 转速范围：20-10000rpm

5. 转速分辨率：±1rpm

6. 加速度可调范围：20-50000rpm/s

7. 单步时长：3000s

8.时间分辨率：0.1s

二、实验型匀胶机公司简介：

是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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