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一、磁控溅射镀膜机Sputter应用领域:
巨磁电阻(GMR)、组合材料科学(CMS)、半导体、超导体、纳米级器件、光子学、光伏(PV)、OLED(发光二极管)、有机薄膜。
二、磁控溅射镀膜机Sputter技术参数:
1. 最大样品尺寸:8英寸
2. 溅射源:强磁靶、永磁靶,数量根据用户定制
3. 电源:直流电源、射频电压
4. 真空系统:超高真空
5. 样品台加热:最高至1100℃
6. 控制系统:全自动控制
7.进样室:根据用户需求定制
三、企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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