激光退火设备

简要描述：激光退火设备技术参数：
1. 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触
2. 加工尺寸：4inch、6inch
3. 加工速度：1000mm/s
5. 平台参数：行程300mm×300mm
6. 重复定位精度：±0.001mm
7. 激光器参数:紫外
8. 稼动率:98%以上
9. 重大故障间隙时间:＞1000H
10.良率:≥99.5%

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厂商性质：经销商
更新时间：2024-03-28
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一、激光退火设备产品参数：

1. 应用范围：对重掺杂碳化硅（SiC）表面沉积的过渡金属进行退火，形成良好的欧姆接触

2. 加工尺寸：4inch、6inch

3. 加工速度：1000mm/s

4. 加工精度：±1μm

5. 平台参数：行程300mm×300mm

6. 重复定位精度：±0.001mm

7. 激光器参数:紫外

8. 稼动率:98%以上

9. 重大故障间隙时间:＞1000H

10.良率:≥99.5%

二、激光退火设备公司介绍：

是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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