全新CIF 实验室型等离子清洗机

简要描述：全新CIF 实验室型等离子清洗机并非传统等离子体清洗设备设计理念，可中试生产、模拟生产条件，几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓，上开盖下压式铰链开关方式，上置式360度自由取放样品托盘设计，具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

产品型号：
厂商性质：经销商
更新时间：2024-03-28
访问量：544

产品咨询联系我们

产品分类

Product Category

详细介绍

一、全新CIF 实验室型等离子清洗机产品介绍

CIF推出全新一代实验室型等离子体清洗设备，并非传统等离子体清洗设备设计理念，可中试生产、模拟生产条件，几乎具备等离子体清洗设备所有的功能。采用顶置真空仓，上开盖下压式铰链开关方式，上置式360度自由取放样品托盘设计，具有较大的腔体尺寸和有效样品处理面积，使用成本低，性价比高，处理快速高效，特别适合于大学，科研院所和光电企业实验室小批量中试生产。

二、全新CIF 实验室型等离子清洗机产品特点

1.7寸彩色触摸屏互动操作界面，图形化用户操作界面显示，自动监测工艺参数状态，20个配方程序，可存储、输出、追溯工艺数据，机器运行、停止提示。

2. PLC工控机控制整个清洗过程，手动、自动两种工作模式。

3. 石英真空仓，真空管路系统采用316不锈钢材质，耐腐蚀无污染。

4. 采用质量流量计实现对气体输入精准控制，改变传统浮子流量计控制气体流量不准确问题。

5. HEPA高效过滤，气体返填吹扫，防止二次污染。

6. 60度倾角操作界面设计，符合人体功能学，操作方便，界面友好。

7. 顶置真空仓，上开盖设计，下压式铰链开关方式，开关盖方便。

8. 采用花洒式多孔进气方式，改变传统等离子清洗机单孔进气不均匀问题。

9. 上置式360度自由水平取放样品托盘设计，符合人体功能学，操作更方便。

10. 有效清洗面积大，可清洗最大直径8寸硅片。

11. 可处理不同几何形状、表面不同粗糙程度的金属、陶瓷、玻璃、硅片、塑料等样品，进行清洗和改性。

12. 安全保护，仓门打开，自动关闭电源。

三、技术参数

型号	CPC-G	CPC-Gplus	CPC-12	CPC-12plus
舱体尺寸	H120xΦ270mm	H120xΦ270mm	H120xΦ370mm	H120xΦ370mm
舱体容积	6.8L	6.8L	12.8L	12.8L
射频电源	40KHz	13.56MHz	40KHz	13.56MHz
匹配器	自动匹配	自动匹配	自动匹配	自动匹配
激发方式	电容式	电容式	电容式	电容式
射频功率	10-300W可调	10-150W可调	10-600W可调	10-300W可调
最大处理尺寸	Φ270mm 圆盘		Φ370mm圆盘
产品尺寸	L525xW425xH345mm		L618xW520xH465mm
包装尺寸	L645xW540xH560mm		L750xW640xH570mm
气体控制	质量流量计（MFC）（标配单路，可选双路）
时间设定	1-99分59秒
真空泵	抽速4-8m3/h
气体稳定时间	1分钟
真空度	100pa以内
电源	AC220V 50-60Hz

产品咨询

留言框

产品：
您的单位：
您的姓名：
联系电话：
常用邮箱：
省份：
详细地址：
补充说明：
验证码：

请输入计算结果（填写阿拉伯数字），如：三加四=7

上一篇： CIF 生产型等离子清洗机

下一篇： CIF 实验室型等离子清洗机

全新CIF 实验室型等离子清洗机

留言框

产品：

您的单位：

您的姓名：

联系电话：

常用邮箱：

省份：

详细地址：

补充说明：

验证码：