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一、深能级瞬态谱仪(DLTS)技术参数:
1. 脉冲发生器电压范围 ±100v,解析度0.3mV
2. 脉冲宽度 1us-1000s
3. 电容测量的高频信号 1M Hz
4. 电容补偿范围 1pF- 3300pF
5. HF–频率: 1M Hz
6. HF-信号: 100mV
7. 电容测试范围 2pF,20pF,200pF,2000pF,自动或手动
8. 电容测试灵敏度 0.01fF
9. 电流放大器最大测试电流: 15mA
10. 电流放大器电流分辨率 10pA
二、深能级瞬态谱仪(DLTS)技术优势:
1. 数字瞬态记录器最大采样 64000点
2. 数字瞬态记录器采样间隔 2us-4s
3. 耦合方式 提供28种耦合方式,包括Boxcar和Lock-in方式.一次变温即可得到28组曲线和数据点
4.单个温度点测试参数序列 单温度点设置18种测试参数序列,无需重复变温即可得到不同测试参数
三、企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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