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步进式Stepper光刻机

简要描述：步进式Stepper光刻机产品参数：
1. 解像力：≤350nm
2. 投影倍率：1:5
3. 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)
4. 光源：i-Line 365nm
5. 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)

  • 产品型号：
  • 厂商性质：经销商
  • 更新时间：2024-03-28
  • 访 问 量：1280
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    详细介绍

    一、步进式Stepper光刻机产品参数：

    1. 解像力：≤350nm

    2. 投影倍率：1:5

    3. 市场尺寸：20mm*20mm(5inch)/ 22mm*22mm(6inch)

    4. 光源：i-Line 365nm

    5. 掩膜版尺寸：5inch/6inch(可选)

    6. 晶圆尺寸：50mm（2inch）/75mm（3inch）/100mm（4inch）/150mm（6inch）/200mm（8inch）（可选）

    7. 套刻精度：≤40nm

    8.设备尺寸：（W）1900*（D）2600*（H）2450mm

    二、步进式Stepper光刻机企业简介：

    是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

    致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

    公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。



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