晶圆甩干机

简要描述：1.是高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构。
2.产品类型：有立式单腔，双腔晶圆甩干机(2-12寸)，水平多工位甩干机(2-12寸)
3.单次甩干数量1-25块
4.作业程序：冲洗、烘干的步骤顺序、时间、转速等可分段编辑，（可设 recipe 为 10 个）

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厂商性质：经销商
更新时间：2024-03-28
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一、产品介绍：

1.晶圆甩干机系高洁净度的冲洗旋干设备。主要系应用于硅晶圆、掩模板、太阳能电池等材料的高洁净度冲洗旋干。设备具有单工作室、双工作室两种结构

2. 产品类型：有立式单腔，双腔晶圆甩干机(2-12寸)，水平多工位甩干机(2-12寸)

3. 单次甩干数量1-25块

4. 作业程序：冲洗、烘干的步骤顺序、时间、转速等可分段编辑，（可设 recipe 为 10 个）

二、企业简介：

是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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