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一、半导体参数测试仪产品概述:
配备集成电脑及显示屏一体机箱,包含高精度电流测量模块、电容测量模块、超快脉冲模块,配合专用数据测量分析软件,无需外接其他仪表即可实现I-V曲线,I-t曲线,C-V曲线及C-f曲线的测量并能在屏幕实时显示测量结果。具有瞬态波形捕获模式和任意波形发生器,支持多电平脉冲波形,可编程分辨率10 ns 。
二、半导体参数测试仪技术参数;
1. 电流测量精度≤0.1 fA,最小可测量电流≤20 fA
2. 最大电流测量量程≥0.1 A,最大输出功率≥2 W
3. 电流测量精度10 fA时,电流表的最短采样时间间隔100 μs
4. I-V特性测试及C-V特性测试切换时,无须更改电路
5. 实现不同频率交流阻抗测量(C-V、C-f、C-t) 的测量,频率范围1 kHz-5 MHz,最小频率步进≤1 mHz
6. 电容测量精度≤5 fF (1 MHz)、≤10 fF(5 MHz)
7. 电容测量范围5 fF-1 nF,电压0至±25V,步进≤1 mV
8. 具有脉冲输出及采集模块,脉冲输出电压峰值10 V
9. 脉冲采样最大采样率≥200 MSa/s,最小采样时间5 ns
二、企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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