智能型多功能椭偏仪

简要描述：智能型多功能椭偏仪（Smart SE）是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

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详细介绍

一、智能型多功能椭偏仪产品概述：

Smart SE是一款通用型薄膜测量工具。测试速度快，准确。它可以表征几埃到20µm薄膜厚度、光学常数（n, k）以及薄膜结构特性（如粗糙度、光学梯度及各向异性等）。

二、智能型多功能椭偏仪产品参数：

1. 光谱范围：450nm to 1000nm

2. 光谱分辨率：优于3nm

3. 光源：卤素灯和蓝光LED

4. 测试时间：小于1秒到10秒

5. 光斑尺寸:

(1) 75µm * 150µm, 100µm * 250µm,

(2) 100µm * 500µm, 150µm * 150µm,

(3) 250µm * 250µm, 250µm * 500µm,

(4) 500µm*500µm

6. 入射角：450 to 900 ，步径50

7. 样品尺寸：200mm以内

8. 样品准直：手动调整样品台高度（17mm以内）和倾角

9. 空气对射精度：Ψ=450±0.050 Δ=00±0.20

10. 厚度准确性：0.04%

11. 厚度重复性：±0.02%

三、可选附件：

1. 全自动量角器，入射角度从450 到900可调，步径0.010

2. 可通过法兰耦合在反应腔实现在线监测

3. 冷热台，液体样品池和电化学反应池

4.十字星自准直系统

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