欢迎来到 网站！
欢迎来到 网站！
19842703026
当前位置：首页>>>探针式轮廓仪/台阶仪>探针式轮廓仪/台阶仪
相关文章
Related Articles详细介绍
一、探针式轮廓仪/台阶仪产品参数：
1. 测量功能：二维表面轮廓测量 /可选三维测量
2. 样品视景：可选放大倍率，1 to 4mm FOV
3. 探针压力：使用LIS 3 传感器 1至15mg
4. 低作用力：使用N-Lite+低作用力传感器: 0.03至15mg
5. 探针曲率半径可选范围: 50nm至25 um
6. 高径比(HAR)针尖: 10um x 2um和200um x 20um 可按客户要求定制针尖
7. 样品X/Y载物台：
手动X-Y平移：100mm (4英寸）
机动X-Y平移：150mm (6 英寸)
8. 样品旋转台：手动，360° 旋转 机动，360°旋转
9. 扫描长度范围：55mm(2英寸)
二、探针式轮廓仪/台阶仪技术优势：
1. 每次扫描数据点：最多可达120.000数据点
2. 最大样品厚度：50mm(2英寸)
3. 最大晶圆尺寸：200mm(8英寸)
4 台阶高度重现性：<4A，1sigma在1um台阶上
5. 垂直范围：1mm(0.039英寸)
6.垂直分辨率：最大1A (6.55um垂直范围下)
三、企业概述
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
产品咨询
网站首页
