光学轮廓仪

一、产品概况：

光学轮廓仪是一款用于对各种精密器件及材料表面进行亚纳米级测量的检测仪器。它是以白光干涉技术为原理、结合精密Z向扫描模块、3D 建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析，并获取反映器件表面质量的2D、3D参数，从而实现器件表面形貌3D测量的光学检测仪器。

可广泛应用于半导体制造及封装工艺检测、3C电子玻璃屏及其精密配件、光学加工、微纳材料及制造、汽车零部件、MEMS器件等超精密加工行业及航空航天、科研院所等领域中。可测各类从超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物体表面，从纳米到微米级别工件的粗糙度、平整度、微观几何轮廓、曲率等，提供依据ISO/ASME/EUR/GBT四大国内外标准共计300余种2D、3D参数作为评价标准。

二、光学轮廓仪产品参数：

1. 最大扫描量程：≤10 mm

2. 横向分辨率：

0.38 um minimum (Sparrow criterion)

0.13 um (with AcuityXR)

3. 垂直分辨率：<0.01 nm

4. 台阶高度重复性：<0.75% <0.125% 1 sigma repeatability

5. 最大扫描速度：122 um/sec (with laser reference)

6. 样品反射率范围：0.05% to 100%

7. 样品尺寸：350 mm * 304 mm x 304 mm (H x D * W) ；249 mm H 自动样品台

8. 最大样品重量：45 kg (77 kg without standard stage)

9. 物镜：

Parfocal: 2.5X, 5x, 10X, 20X, 50X,100X, 115X

LWD: 1X, 2X, 5X，10X

TTM: 2x, 5X, 10x, 20X: Bright Field: 10X

Single-objective adapter; Optional motorized five-position turret

10.放大器：0.55X，0.75X，1X，1.5X, 2X auto-sensing modules

11. 测量模式：PSl, USl, VSl, 选配的 Film

12. XY 品台：300 mm 自动样品台

13. Z 轴聚焦：249(350 mm 不带自动台)

14. 光源：双LED光源