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一、回流焊炉产品介绍:
1. 应用领域:无助焊剂焊接;倒装芯片焊接;键合;Bump回流焊接;微电子封装;功率器件焊接;晶圆热处理;工艺研发;质量控制
2. 加热区域:4、6、8、12英寸
3. 腔体高度:40mm (选配80mm)
4. 视窗直径:60mm
5. 工艺气体控制:MFC控制,5nlm流量
6. 真空:10-3 hPa (高真空选配)
7. 工艺温度:400摄氏度(500摄氏度或650度选配)
8. 升温速度:>100 K/Min
9. 降温速度:>100 K/Min
10.选配项目:FA甲酸模块;MFC工艺气路;EH腔体增高;H2氢气模块;TC多通过测温;VAC真空模块;MP隔膜泵,MPC化学防腐隔膜泵;RVP旋叶真空泵;WC冷水机
二、回流焊炉企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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