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TEM Mill 精密离子减薄仪

简要描述:TEM Mill 精密离子减薄仪 功能介绍:
1. 样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置
2. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能
3. 样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹
4. 可通过时间、温度以及透光性自动停止
5. 可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤
6.可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触

  • 产品型号:
  • 厂商性质:经销商
  • 更新时间:2024-03-28
  • 访 问 量:448

详细介绍

一、TEM Mill 精密离子减薄仪技术参数:

1. 两支独立可调电磁聚焦离子枪

2. 同时具备高能量(快速抛光)和低能量(精细修复)

3. 超宽加速电压范围:100eV 到 10kV,不同加速电压下,离子束束斑均保持最细束斑状态

4. 每支离子枪均配备对应法拉第杯进行离子束直接探测

5. 采用可调节10英寸触屏控制系统,人机界面友好,操作简洁

6. 自动独立气源控制

7. 减薄角度范围:-15°~+10°连续可调

二、TEM Mill 精密离子减薄仪功能介绍:

1. 样品载台X-Y可调,可根据需要调整样品减薄位置

2. 具备原位实时观察及记录减薄过程功能

3. 样品可360°连续旋转或摇摆,离子束自动避让样品夹

4. 可通过时间、温度以及透光性自动停止

5. 可选液氮冷台配置,去除热效应对样品的损伤

6.可选真空或惰性气体转移装置,隔绝样品与水氧接触

三、企业简介

是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。

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