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一、真空手套箱主要构成：
1.手套 2.手套口 3.真空泵 4.大小过渡舱
二、真空手套箱产品参数：
1. 水含量： <1ppm
2. 氧含量： <1ppm
3. 材料：304不锈钢，厚度3mm
4. 外表面：304不锈钢
5. 功能：气体密封，除水、除氧
6. 工作气体：氮气、氩气、氦气
7. 手套口：材料为POM或铝合金，O型密封圈
8. 手套：丁基橡胶，厚度0.4mm，直径7"或8"
9. 净化能力：除氧60L、除水2KG
10. 循环能力：集成风机流量90m³/h
11. 真空泵：旋片泵，带油雾过滤器，气振控制，8m³/h或12m³/h
12. 大过渡仓：Φ360mm，L600mm（可选Φ400mm）
13.小过渡仓：Φ150mm，L300mm（可选Φ100mm）
三、企业简介：
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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