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一、四探针电阻率测试仪应用:
半导体材料、太阳能电池材料(硅、多晶硅、碳化硅等),新材料、功能材料(碳纳米管、DLC、石墨烯、Ag纳米线等)、导电薄膜(金属、离子等),扩散层,硅相关外延材料,离子注入样品
二、四探针电阻率测试仪样品尺寸及测量范围:
1.尺寸:基于所选择的平台而定,圆形样品最大支持300mm(12 inch),或方形最大尺寸730x920mm
2.测量范围:
V/I 电阻: 1.0m - 3.0M Ω
方阻: 5.0m - 10.0M Ω/sq
电阻率: 1.0μ - 300.0k Ω.cm
三、企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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