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一、超景深显微镜产品介绍:
本套系统主要用于材料表面形貌的观察;平面或三维测量。可采用3D观测模式,对被测物形状,粗糙度,表面积等进行测量,可以做高度,宽度,横截面,角度,R值,表面积,体积,线粗糙度,面粗糙度等的测量分析。同时可以做材料断口、金相的观测,陶瓷,微流道,微加工,现代加工制造,MEMS研究,微纳制造等。
二、超景深显微镜产品参数:
1. 光源类型:≤404nm半导体激光
2. X/Y方向测量显示分辨率:1nm
3. Z向测量显示分辨率:0.5 nm
4. 面扫描速度:≥125Hz、线扫描速度:≥7900Hz
5. 角度特性:稳定测量倾角≥87.1度的斜面
6.XY载物台电动运行范围:≥100mm*100mm
三、企业简介:
是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。
致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。
公司已授实用新型权利 29 项,软件著作权 14 项,是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。
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