阻抗分析仪

一、阻抗分析仪简介：

在宽广的阻抗范围内提供 0.65% 的基本准确度。可以选配材料测量选件以执行温度特征分析，并能够直接得到介电常数和导磁率读数，是表征和评测电子元器件、半导体器件和材料的理想方案。

二、阻抗分析仪技术参数：

1. 3 种可升级的频率选件：1 MHz 至 500 MHz/1 GHz/3 GHz

2. ±0.65% 基本准确度和 120 mΩ 至 52 kΩ 阻抗范围

3. 测量参数：|Z|、|Y|、θ、R、X、G、B、L、C、D、Q、|Γ|、Γx、Γy、θΓ、Vac、Iac、Vdc1、Idc1（1. 需要选件 001）

4. 内置直流偏置（选件 001）：0 V 至 ±40 V，0 A 至 ±100 mA

5. 数据分析功能：等效电路分析、极限线测试

6. 介电/磁性材料测量（选件 002）：|εr|、εr'、εr''、tanδ(ε)、|μr|、μr'、μr''、tanδ(μ)

7. 提供温度特征测量（选件 007）和可靠的晶圆上测量（选件 010）

8. 提供温度特征分析功能，并能够直接得到介电常数和导磁率的读数

9.探头台连接套件（选件 010）可以在高达 3 GHz 的频率范围内提供准确的晶圆上或微型元器件阻抗测量解决方案

三、企业简介：

是集半导体仪器装备代理及技术服务的高新技术企业。

致力于提供半导体制程工艺装备、后道封装装备、 、半导体光电测试仪表及相关仪器装备维护、保养、售后技术支持及实验室整体服务。

公司已授实用新型权利 29 项，软件著作权 14 项，是创新型中小企业、科技型中小企业、规模以上工业企业。